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  • Fab設備として、Novellus SystemのInline Sputter(INOVAxT)とPlasma CVD(C-3, Speed)が入ってます。
    • 　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　　　
  • AMATのWafer検査装置(WF-736W, 5台)も入ってます。
    • 　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　　　
  • PKG設備として、Tape Mounter, Flip Chip Bonder Line, Laser Markerもあります。
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  • ATEとしては、日本GartnerのTesterとHandler一体型設備もあります。
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  • プリンター基板装置としては、Adotecの自動露光装置とウシオ電機の自動露光装置もあります。

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ウェハ-接着システム
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三菱マテリアルテクノ
Sputter, INOVAxT
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Novellus System
Plasma CVD, Speed(C-3)
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Novellus System
Wafer検査装置, WF-736W
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AMAT
フリップチップボンダ−,SDM250
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渋谷工業 Shibuya Kogyo
LED生産用の一体型装置, NUS-0072
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日本ガ−タ−, NihonGarter